Что такое EB positive resist?

Brina

Заранее спасибо.

Sensor4ik

Фоторезист для электронно-лучевой литографии. Причем позитивный. Веселенький такой :)
Засвеченная часть резиста становится растворимой в том или ином растворителе, не засвеченная - остается нерастворимой.

Brina

Спасибо!

Brina

EB — electron beam?
Оставить комментарий
Имя или ник:
Комментарий: