Вопрос химикам - Как стравить кремний?

vovvp

Ситуация.
Вырастил наноалмазную пленку на кремниевой подложке. Для проведения дальнейших экспериментов нужно избавиться от этого кремния (или достать кусочек-слойчик пленки -) ). Есть в наличие различные кислоты (азотная, плавиковая, серная, соляная и т.д.). Помогите плз...

evgeniy86

щелочью

braginsky

Если подложка толстая, то желательно сначала механически ее утонить, а потом уже химией.

olga58

плавковой наверное. хотя может и щелочь сработает

toha_123

Обычно используются два способа: травление KOH или смесью H2O2+HF (еще известен как RCA technique). Первый способ — т.н. "анизотропное" травление, т.е. определенные направления травятся гораздо быстрее (если подложка монокристаллическая(?. Второй способ лучше подходит для медленного "послойного" травления.
Интересно, наноалмазы такие же инертные как и обычные или нет? А то и пленка может раствориться :confused:
Оставить комментарий
Имя или ник:
Комментарий: